1.入射粒子种类

入射粒子的质量越大，溅射率越高

2.入射离子的能量

入射粒子超过溅射阈值后，随着入射粒子能量的增加，

在小于 150eV 以前，溅射率与入射 粒子的能量的平方成正比，

150-10Kev 范围内变化不明显，

入射能量继续增加，溅射率将呈下降趋势

3.入射角

入射角 0-60°，溅射率随角度增加

60-80° 溅射率最大 入射角继续增加溅射率将急剧下降

入射角 90°，溅射率为 0

4.靶材的种类及结构

溅射率一般随靶材的原子序数增加而增大，元素不同结构不同的靶材具有不同的溅射率