目前高熵合金靶材的制备方法主要有两种:真空熔法和粉末冶金法.

真空熔炼法,将一定比例的合金原料在真空状态下熔化,然后将合金液注入模具,形成铸锭,再通过机械加工成靶材.真空熔炼常用的方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空悬浮熔炼等.其优点是气体含量低、致密度高、尺寸大,缺点是:两种或两种以上成分的熔点和密度差异较大时,难以获得成分均匀的合金靶材.

粉末冶金法,将一定比例的合金原料熔炼浇铸成铸锭,再将铸锭破碎研磨成粉末状,将合金粉末等静压成型,然后高温烧结,最终形成靶材.其优点是靶材成分均匀,缺点是是致密度低、气体杂质含量高.常用的粉末冶金方法有冷压烧结、热压烧结、热等静压等.

高熵合金靶材的制造工艺

采用真空熔炼或者粉末冶金的方法制成原始靶材锭坯后,可以选用合适的热处理温度消除锭坯内应力以防止机加工时产生开裂情况,然后进行车、铣、磨等机加工,绑定铜背板,再进行清洗、烘干,制成靶材成品,最终通过超声波或X光检测,真空包装出货.