溅射合金靶材需要满足纯度、致密度、晶粒度、表面光洁度等要求。其中纯度、致密度及晶粒度与靶材制备工艺直接相关。

金属合金制备通常采用的普通熔炼法。但钛铝合金的制备不适于采用该方法，主要原因如下：

(1)钛铝合金熔炼过程易形成多种金属间化合物，如Ti3A1、TiAl、TiAl2、TiAl3等，这些金属间化合物的存在导致钛铝合金的加工脆性，特别是当合金中铝含量超过50％(原子比)，该问题尤为明显；

(2)熔炼工艺制备钛铝合金靶材，浇注过程中易产生气泡、疏松和偏析，造成合金中成分与组织不均匀，导致靶材品质不稳定。

根据国内外有关钛铝合金靶材的生产工艺研究报道，目前钛铝合金溅射靶材的主要制备技术有：强电流加热法、热等静压烧结法、热压烧结法。

强电流加热法：采用可获得大电流的装置，利用大电流使钛粉和铝粉发热，施以压力，使铝和钛自身反应形成钛铝合金靶材。

热等静压烧结法：该法将钛粉和铝粉进行混料，然后经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热等静压压制成型，最后进行烧结和加工得到钛铝合金靶材。

热压烧结法：该工艺使钛铝粉体在热和力的共同作用下烧结成型，利用Ti—Al混合物中铝的熔点低，将钛粉粘结在一起，形成合金溅射靶材。

热压烧结是钛铝合金溅射靶材最有潜力的制备技术。该技术工艺效率高，适合产业化生产。而用该技术制备钛铝合金靶材需反复试验，选择合适的脱模剂，提高成品率及模具的利用率，同时，需优化烧结热压工艺条件(烧结温度、升温速率、热压压力)，提高生产效率，从而降低成本。