加工工艺流程
原料备料 ·····> 熔炼铸锭 ·····> 成分分析 ·····> 成型处理 ·····> 热处理
选取高品质原材料,
部分选择进口料,
以保证靶材品质
真空感应熔炼、
电子束熔炼、
悬浮熔炼等
ICP-MS、
GDMS、
碳硫,氧氮分析仪
浇筑,锻造,
轧制,热压,
拉伸等
消除内部应力
净利细化重排
金相探伤检测 ·····> 机加工成型 ·····> 外观尺寸检测 ·····> 清洗终检 ·····> 包装出库
检测内部组织
切割,车,
铣磨,数控加工
检测成品外观
及尺寸公差
成分质量控制
原料成分分析:
通过ICP,GDMS等设备检测分析,金属杂质含量,确保纯度达标;
通过碳硫分析仪,氮氧分析仪等设备对非金属杂质含量进行检测。
↓
金相探伤分析:
通过探伤设备检测靶材,确保产品内部无缺陷、缩孔;
通过金相测试,检测靶材内部晶粒程度,以保证晶粒细密。
↓
外观尺寸检测:
通过千分尺,精密卡尺,测量产品尺寸,以确保符合图纸要求;
通过表面清洁度仪测量产品表面光洁度及清洁程度
包装及保存说明
出库包装:
内部真空袋真空包装,外部为定制产品靶材盒,纸箱快递运输
储存方法:
收到产品后,需储存于干燥环境,密封包装,轻拿轻放,防压防撞
使用注意:
使用前观察靶材表面是否清洁,带上干净的手套操作,避免直接用手接触物料,勿被油污等异物污染
应用领域及适用设备
适用设备:
应用于各种单靶溅射系统,多靶溅射系统,离子溅射系统等磁控溅射设备
应用领域:
科学实验或研究方面应用,微纳加工,器件制作等相关定制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏、
平面显示、特种涂层等
部分品牌:
国产品牌:北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、创世威钠、金盛微纳、
泰科诺等;进口品牌:Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等