加工工艺流程









原料备料 ·····＞ 熔炼铸锭 ·····＞ 成分分析 ·····＞ 成型处理 ·····＞ 热处理









选取高品质原材料，

部分选择进口料，

以保证靶材品质


真空感应熔炼、

电子束熔炼、

悬浮熔炼等


ICP-MS、

GDMS、

碳硫,氧氮分析仪


浇筑，锻造，

轧制，热压，

拉伸等


消除内部应力

净利细化重排










金相探伤检测 ·····＞ 机加工成型 ·····＞ 外观尺寸检测 ·····＞ 清洗终检 ·····＞ 包装出库









检测内部组织
切割，车，

铣磨，数控加工


检测成品外观

及尺寸公差









成分质量控制


原料成分分析：
通过ICP，GDMS等设备检测分析，金属杂质含量，确保纯度达标；

通过碳硫分析仪，氮氧分析仪等设备对非金属杂质含量进行检测。

↓
金相探伤分析：
通过探伤设备检测靶材，确保产品内部无缺陷、缩孔；

通过金相测试，检测靶材内部晶粒程度，以保证晶粒细密。

↓
外观尺寸检测：
通过千分尺，精密卡尺，测量产品尺寸，以确保符合图纸要求；

通过表面清洁度仪测量产品表面光洁度及清洁程度



包装及保存说明


出库包装：
内部真空袋真空包装，外部为定制产品靶材盒，纸箱快递运输



储存方法：
收到产品后，需储存于干燥环境，密封包装，轻拿轻放，防压防撞



使用注意：
使用前观察靶材表面是否清洁，带上干净的手套操作，避免直接用手接触物料，勿被油污等异物污染





应用领域及适用设备


适用设备：
应用于各种单靶溅射系统，多靶溅射系统，离子溅射系统等磁控溅射设备



应用领域：
科学实验或研究方面应用，微纳加工，器件制作等相关定制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏、

平面显示、特种涂层等



部分品牌：
国产品牌：北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、创世威钠、金盛微纳、

泰科诺等；进口品牌：Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等